Harmonic Drive-Getriebe, RV-Reduktionsgetriebe und Präzisions-Planetengetriebe helfen Wafer-Handhabungssystemen, ein höheres Maß an Automatisierung zu erreichen

Mit dem kontinuierlichen Fortschritt der Technologie erreichen Wafer-Handling-Roboter schrittweise höhere Automatisierungsgrade, um den Anforderungen und Herausforderungen der Halbleiterfertigungsindustrie gerecht zu werden.

● Das Harmonic-Drive-Getriebe wird aufgrund seines spielfreien Betriebs, seiner ultrapräzisen Eigenschaften (im Bogensekundenbereich) und seines geringen Gewichts häufig in Anlagen wie Wafer-Handling-Armen (Wafer Handler), Lithografiemaschinen (Lithography) und reinraumgeeigneten Maschinen eingesetzt.

● Das RV-Untersetzungsgetriebe wird aufgrund seiner hohen Steifigkeit, seines hohen Drehmoments und seiner langen Lebensdauer häufig in der Basis von lasttragenden Roboterarmen eingesetzt.

● Das Präzisions-Planetengetriebe wird mit seiner hohen Drehmomentdichte und kompakten Struktur häufig in Geräten wie Wafer-Förderbändern, Indexiertischen und Wafer-Pre-Alignern eingesetzt.

SCARA-Wafer-Handling-Roboter mit Direktantrieb

Roboter vom SCARA-Typ nutzen hochpräzise Winkelsensoren zur Positionsrückmeldung, wodurch Bewegungsanpassungen und Rotationswinkelkompensation des Roboters ermöglicht werden, damit der Endeffektor in jede gewünschte Richtung ausgerichtet werden kann.

In den Gelenken J3 und J4 (Unterarm- und Handgelenke) von SCARA-Roboterarmen spielen Harmonic-Drive-Getriebe eine unersetzliche Rolle. Das Prinzip der elastischen Verformung der Flexspline bei Harmonic Drives beseitigt mechanisches Spiel vollständig, was entscheidend ist, um die Genauigkeit der Waferplatzierung sicherzustellen und die Trägheit des Endeffektors zu verringern.

Abgedichtete RV-Untersetzungsgetriebe unterstützen Vakuum-Wafer-Handling-Roboterarme

Aufgrund ihrer hohen Steifigkeit und langen Lebensdauer sind RV-Untersetzungsgetriebe häufig verwendete Komponenten in Wafer-Handling-Roboterarmen. Vakuum-Wafer-Handling-Anlagen stellen höhere Anforderungen an Sauberkeit und Stabilität.

HONPINE bietet kundenspezifische abgedichtete RV-Untersetzungsgetriebe an, in die integrierte Motoren eingebaut werden können. Das abgedichtete Design macht das RV-Untersetzungsgetriebe einfacher zu installieren und zu verwenden, verkürzt die Installationszeit für Wafer-Handling-Systeme und verbessert die Designsicherheit.

Präzisions-Planetengetriebe bieten effiziente Kraftübertragung und vielfältige Optionen

Die mehrstufige Zahnradanordnung von Präzisions-Planetengetrieben minimiert Energieverluste und erreicht einen Wirkungsgrad von über 90%. Diese hocheffiziente Energieumwandlung trägt dazu bei, den Energieverbrauch zu senken und Unternehmen wirtschaftliche Vorteile zu verschaffen.

Wafer-Handling-Systeme erfordern zahlreiche Anlagen, und ein einzelnes Projekt ist oft mit Investitionen in Milliardenhöhe verbunden. Wie sich die anfänglichen Investitionskosten und die langfristigen Betriebskosten wirksam senken lassen, ist eine zentrale Überlegung für Hersteller.

Darüber hinaus bietet die vielfältige Auswahl an Präzisions-Planetengetrieben Unternehmen Produkte, die ihren Anforderungen besser entsprechen. Je nach Auslegung des Wafer-Handling-Systems können einstufige, zweistufige oder mehrstufige Untersetzungskonfigurationen gewählt werden, um unterschiedliche Anforderungen an Drehzahl und Drehmoment zu erfüllen.

Roboterstrukturen gibt es in verschiedenen Formen. Für Roboter mit sich wiederholenden, festen Bewegungsbahnen sollten die geeignete Struktur und die Freiheitsgrade entsprechend den tatsächlichen Bedingungen ausgewählt werden.

Typische Rotationslösungen für Roboterarme umfassen:

Rotation des großen Arms: AC-Servomotor → Harmonic-Drive-Getriebe/RV-Untersetzungsgetriebe/Präzisions-Planetengetriebe → Lagerverbindung → großer Arm

Rotation des kleinen Arms: AC-Servomotor → Harmonic-Drive-Getriebe/RV-Untersetzungsgetriebe → Lagerverbindung → kleiner Arm

Bei der Auswahl von Untersetzungsgetrieben für Wafer-Handling-Systeme müssen Faktoren wie Präzision, Sauberkeit, Geschwindigkeit und Last umfassend berücksichtigt werden.

Kontaktieren Sie HONPINE, um gemeinsam mit unseren technischen Experten Präzisionsantriebsherausforderungen für Wafer-Handling-Systeme zu lösen und die am besten geeigneten Untersetzungsgetriebelösungen zu erhalten.