Hallo zusammen, ich bin Theodore Li, Technischer Direktor bei HONPINE. In der Halbleiterfertigungsausrüstung geht es bei Drehbewegungen nicht einfach darum, einen Mechanismus rotieren zu lassen. Begrenzter Einbauraum, die Verlegung von Kabeln und Schläuchen, Stabilität bei niedrigen Drehzahlen, präzise Positionierung und kontinuierlich anpassbare Bewegungsprofile können die Leistung der Maschine beeinflussen. Deshalb werden harmonische Drehaktuatoren zu einer wichtigen Bewegungslösung für Halbleiterausrüstung. In diesem Artikel erläutere ich anhand unserer Erfahrungen bei der Entwicklung von Anwendungen für Ausrüstung, Deckenfördersysteme, Waferhandling, Reinigung und Kristallzüchtung, wie harmonische Getriebe, FOC-basierte Motorsteuerung, Encoder-Rückmeldung, ein großes Hohlwellendesign und flexible mechanische Schnittstellen zusammenwirken, um praktische Bewegungsanforderungen in der Halbleiterindustrie zu erfüllen.